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Horizon V系列立式磁控溅射多功能连续生产线

                                                

                 

 

 

    地平线V(垂直)是一种高吞吐量连续基质载体涂层系统。运营商与单个或多个基板被从大气上演高真空,过渡到一个连续控制过程线的速度通过过程部分,和转换回大气层中不连续渐进过程。地平线V已经所有相同的预处理、后处理和过程能力随着地平线。钱伯斯的地平线V允许处理的运营商都在送风和回风方向,减少所需的系统长度和提供单端对衬底的加载和卸载。航空公司运输在7 o角从垂直允许使用重力持有最底物在地方和东方的衬底在溅射了条件改善碎片管理。

    地平线V可以放在系列或与其他处理工具。我们可以配置系统作为一个直管道工具与衬底卸货结束时,使用背面航母返回,或者我们可以配置它的加载和卸载都处于同一结束。基板可以手动处理的载体,或加载可以自动化。如果其他工具的线用载体我们可以考虑修改运输使用一个标准尺寸的部分。我们可以帮助定义一个总运输包装,包含载体管理和衬底处理。

 

标准技术规范
●载体大小:1600毫米高x长1350毫米(2×660 mm x 1250 mm的基板,短边领导)
●载荷加载周期时间:到20秒。(周期依赖于生产要求)
●生产线速度匹配负载加载周期,伺服马达控制。
●传动皮带外部真空气氛,维护。
●高真空抽水与2000 l / s系列涡轮分子泵
●衬底加热可供300 o聽C(可选450 o聽C)
●载体为零(0)可见运营商之间的差距在过程域
●阴极和载波传输是7点聽掉垂直定向的衬底俯身在阴极(溅射了)
●两(2)气体选择每个进程部分(四个气体可用)
●均匀气体分布沿长度的阴极。聽可调长度修剪气体部分可以提供基于层均匀性的要求。
●气体分离系数,如果需要,标准层之间的大约20:1 >使用不同的气体混合物。
●过程均匀性+ / - 3%(可用选项+ / - 1.5%)
●溅射可与直流、脉冲直流,MF和射频
●在线(原位)传输和/或薄层电阻可根据要求提供

  
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