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Horizon系列卧式磁控溅射多功能连续生产线

 

 

    地平线聽串联系统是一个高吞吐量连续涂层系统设计为单个或多个层涂料在刚性基板。基于设计的聽大面积建筑玻璃镀膜机,地平线上可以配置有或没有衬底运营商,和处理从上方或下方。聽衬底加载,单个或多个块,有了从大气或其他控制的环境到一个高真空环境,转换到一个连续控制生产线速度通过过程部分,和转换回大气层中不续渐进过程。聽前后工艺表面处理,加热和/或冷却可以纳入到上演了入口和出口部分。聽标准设计是为浮法玻璃基片之间1.5毫米和4毫米厚,但其他材料和厚度可以被容纳在请求。

 

    达到最高的无故障运行时间系统旨在尽量减少移动部件在真空室。聽传输驱动机制是外部真空,使用一个高度可靠的真空引线为每个所需的辊。聽内部滚筒使用高温真空兼容干衬套,所有润滑轴承外真空。聽当适用,功能可以减少维修周转时间和潜在的污染从维修人员。

     地平线上可以放置在系列或与其他处理工具。聽我们可以提供外部运输工具之间或集成信号与其他公司提供的运输设备。聽系统旨在提供一个升级路径从原型到聽启动聽高生产,要么作为一个上演了供应或与预先计划的空间扩张。

 

标准技术规范

●负载大小:1350 mm x 1350 mm(2×660 mm x 1250 mm)
●载荷加载周期时间:到20秒。(周期依赖于生产要求)
●生产线速度匹配负载加载周期,伺服马达控制。
●传动皮带外部真空气氛,维护。
●高真空抽水与2000 l / s系列涡轮分子泵
●衬底加热可供300 o C(可选450 o C)
●底物之间的差距在过程面积:20 mm + / -10毫米
●两(2)气体选择每个进程部分(四个气体可用)
●均匀气体分布沿长度的阴极。聽可调长度修剪气体部分可以提供基于层均匀性的要求。
●气体分离系数,如果需要,标准层之间的大约20:1 >使用不同的气体混合物。
●过程均匀性+ / - 3%(可用选项+ / - 1.5%)
●溅射可与直流、脉冲直流,MF和射频
●溅射取向通常下来没有航母。聽可以溅射了与运营商。
●在线(原位)传输和/或薄层电阻可根据要求提供
●系统是专为放置在平坦的地面上(不需要挖沟)与凸起的平台,一边在加工区域。
●室的封面都是删除的开销或龙门起重机

  
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