9号彩票

            

产品展示 Product

离子泵维修

1、在低压下,当阴极和阳极间加上高压时,引起场致发射。


2、在电、磁场作用下电子作螺旋运动。


3、电子与气体分子碰撞产生正离子和二次电子,引起雪崩效应。正离子轰击钛阴极,溅散出钛原子落在阳极筒上,形成新鲜钛膜,也有的落在阴板外围区(β区)。


4、活性气体与新鲜钛膜反应形成化合物,化学吸附在阳极筒内壁。隋性气体被电离,离子在电场作用下轰击阴极过程中被排出。其排除方式为:
1)离子直接打入阴极表面内或β区,斜射的离子切入阴极表面,离子和钛一起被掀掉,埋葬在β区,
2)离子没打入阴极内,从阴极得一电子恢复为中性原子或分子,反射到阳极内表面被埋掉,这叫“荷能中性粒子反射”。


5、对于氢,由于其质量小,氢离子轰击钛板的溅射产额甚低,氢离子 H2+ 或 H+ 打到钛板上与电子复合变成H原子,然后扩散入钛的晶格内,形成TiH固溶体而被排出。常温下这种固溶体中H2的浓度为0.05%,当温度高于250oC以上时,便又开始分解放出氢。钛大量吸氢后。由于放热反应钛板温度上升,达到250oC以后,除重新释放氢之外并导致钛板晶格膨胀造成龟裂。通常需加大钛板的散热能力来改善溅射离子泵对氢的排除能力。要提高对氢的抽速,需保持钛板表面清洁,选用晶格常数较大的β-Ti或钛合金作为阴极板,或引入与氢可比拟的氩含量。因氩的溅散产额高,可提高对氢的抽速。

  
友情链接:大乐购彩票  环球彩票  9号彩票  财神汇彩票  大运彩票  

免责声明: 本站资料及图片来源互联网文章,本网不承担任何由内容信息所引起的争议和法律责任。所有作品版权归原创作者所有,与本站立场无关,如用户分享不慎侵犯了您的权益,请联系我们告知,我们将做删除处理!