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分子泵维修

分子泵结构特点

    泵腔内有可旋转的转子,转子的四周带有沟槽并用挡板隔开。每一个沟槽就相当于一个单级分子泵,后一级的入口与前一级的出口相连。转子与泵壳之间有 0.01mm 的间隙。气体分子由入口进入泵腔,被转子携带到出口侧,经排气管道由前级泵抽走。牵引分子泵的优点是起动时间短,在分子流态下有很高的压缩比,能抽除各种气体和蒸汽,特别适于抽除较重的气体。但同于它自身的弱点:抽速小,密封间隙太小,工作可靠性较差,易出机械故障等,因此除特殊需要外,实际上很少应用。曾一度被结构和制造简单,抽速大的扩散泵所代替。
就是在油扩散泵开始得到广泛应用的时代,人们在牵引分子泵的结构改进方面仍然做了许多工作。如 Holweck 、 Siehbahn 、 Gondet 等先后对 Gaede 型分子泵做了许多改进,提出了很多不同结构的新型牵引分子泵。但由于其结构仍较复杂,抽速低,因此未能得到广泛应用。

 

分子泵的原理

    分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。

  
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